| 负荷 | 重负荷 | ||||
| 型号 | HFG020CC | HFG025CC | HFG030CC | HFG040CC | HFG050CC |
| 轴径 | Ø20 | Ø25 | Ø30 | Ø40 | Ø50 |
| A | |
|
|
|
|
| B | 123.5 | 126 | 130.5 | 141 | 147.5 |
| C | 109.5 | 112 | 116.5 | 125 | 131.5 |
| D | 78 | 90 | 96 | 106 | 132 |
| E | 44 | 49 | 54 | 69 | 79 |
| F | 10 | 10 | 10 | 12 | 12 |
| 推荐轴径 | |
|
|
|
|
| G | 120 | 145 | 145 | 160 | 185 |
| H | 10 | 10 | 10 | 12 | 12 |
| J | 14.5 | 13 | 14 | 12 | 12.5 |
| L | 4--Ø10/PCD100 | 4-Ø12/PCD120 | 4Ø-12/PCD120 | 4-Ø12/PCD135 | 8-Ø12/PCD160 |
| 到达真空度(Pa) | 10-6 | ||||
| 允许He泄漏量(Pa·m3 /sec) | <10-12 | ||||
| 耐压差(kg/cm2 ) | 2.5 | ||||
| 使用温度(℃) | 0～80℃（高温・高速旋转情况下请选择水冷型） | ||||
| 真空腔体内气体 | 活性气体 | ||||
| 使用轴承型号 | 7206DB | 7207DB | 7208DB | 7210DB | 7212DB |
| 轴承材料 | SUJ2 | ||||
| 壳体/轴材质 | SUS304/SUS630 | ||||